HORIBA寬范圍壓敏質量流量計日本制造

HORIBA寬范圍壓敏質量流量計日本制造

微流量壓力不敏感質量流量模塊

D700uF（微流）專為≤5SCCM 流量應用而設計。≤5SCCM
流量控制在高縱橫比工藝中非常關鍵。
專用組件和新開發的內部低流量標準可實現低至 0.025SCCM 的高精度流量控制。

• 低至 0.025SCCM 的流量控制能力

• 精確調節氣體控制，增強工藝可調性

• ≤ 100ms 升壓響應和 MFC 到 MFC 偏差控制

• 實現高生產率和更佳工藝性能

• 內部流量計量

• 所有制造產品均具有可靠的性能

• 狀態監視功能

• 提供更多內部數據以實現更智能的故障預測

• PFA 噴嘴具有更好的閥門關閉性能和耐腐蝕性能

• 堅固耐用，顆粒風險低，減少停機時間并優化產量

*1：請聯系我們以獲取支持的氣體類型和滿量程流量。
*2：流量精度可保證低至 0.1 SCCM N? 當量。
*3：這是在 25 ℃ 和 ≤ 1.0 × 10 -3 Pa(A) 下的保證值。
*4：這是在我們采用校準 N? 氣體的條件下保證的值。設置時間可能因氣體類型和操作環境條件而異。
*5：壓力擾動必須小于每秒 20% 的壓力變化和 ±70 kPa/秒（±10 PSI/秒）。
*6：EtherCAT ®是德國 Beckhoff Automation GmbH