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HORIBA寬范圍壓敏質量流量計日本D700WR制造 HORIBA寬范圍壓敏質量流量計日本制造 D700uF（微流）專為≤5SCCM 流量應用而設計。≤5SCCM 流量控制在高縱橫比工藝中非常關鍵。 專用組件和新開發的內部低流量標準可實現低至 0.025SCCM 的高精度流量控制。