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KASHIYAMA樫山工業真空泵的工作原理和產品特性

更新時間:2025-06-20點擊次數:66
日本樫山工業(Kashiyama Industrial Co., Ltd.)創立于1949年,總部位于日本愛知縣春日井市,擁有70多年的歷史,是一家以專業研發、制造真空泵及相關設備而有名的工業技術企業,產品廣泛應用于半導體、化工、食品、醫藥等領域。以下是對其主要產品真空泵的工作原理及相關技術參數的專業介紹:

機械真空泵工作原理

機械真空泵主要由泵體、轉子、旋片等關鍵部件構成。當電機驅動轉子旋轉時,旋片在離心力作用下緊貼泵腔內壁,形成多個小腔室。這些腔室在旋轉過程中不斷變化體積,實現氣體的吸入、壓縮,并最終通過排氣口排出,從而在泵的吸入端形成真空環境

水環真空泵工作原理

水環真空泵由圓形殼體和偏心安裝的葉輪組成。葉輪旋轉時,水在離心力作用下形成與殼體同心的水膜,葉輪與水膜及相鄰葉片形成密封空間。隨著葉輪旋轉,該空間體積變化,完成吸氣、壓縮和排氣過程,實現真空環境

干式真空泵工作原理

干式真空泵無需油或水等介質潤滑和密封。以干式螺桿泵為例,兩個螺桿轉子反向旋轉,氣體被吸入并隨著螺桿的螺旋運動被壓縮,最終排出泵體,從而實現真空

技術參數

表格
系列名稱電機功率(kW)極限壓力(Pa)排氣速度(m3/h)冷卻方式重量(kg)
SDE-X1.30.12-1.0200-500風冷約150-200
LEM0.2-112.3×103-7.3×10317-300水冷15-300
LEH0.75-7.52.3×103-7.3×10322-150水冷19-250
SDE-TX具體值未提及0.530000具體方式未提及440
NeoDry15G具體值未提及1.0250具體方式未提及約120-150
樫山工業的真空泵產品憑借其性能和可靠性,廣泛應用于半導體制造、化學處理、食品包裝、醫藥生產等領域,為各行業的工藝流程提供了關鍵的真空環境支持,推動了相關技術的發展和進步。在半導體行業,其產品可用于PVD、CVD、刻蝕等工藝,滿足高潔凈度要求。在化工領域,適用于各種化學反應的真空環境需求。在食品包裝方面,能有效實現食品的真空包裝,延長保質期。在醫藥生產中,可用于藥品的干燥、提取等工藝過程。


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